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양쪽 도어윈도우형 500챔버
사이즈 500*500
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티타늄(Ti) Flange 제작
2.75"CF
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Plate Nuts
- 2.75"CF, 1.33"CF Flange 용
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각종 웨이퍼홀더제작
웨이퍼홀더
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High Vacuum Furnace system
Max Temp 1000'C ,4zone Heater구성. Diffusion Pump 장착으로 고진공진입.
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Bellows Vibrator
ISO100 Elbow style
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Tube Furnace System
Vacuum System Throttle valve controll
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Dual CVD Halogen lamp Furnace System
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Turbo Pumping System
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200mm*300mm 아크릴챔버
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10"CF 각종 Adaptor
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10"CF 6-Way Chamber
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할로겐램프퍼니스(다목적열처리로)
진공할로겐퍼니스
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Vacuum Quartz tube Furnace
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Z Motion Stage
2.75"CF 용 Stroke 200~550mm
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